近日，省财政厅、省科技厅下达了2020年省科技成果转化专项资金，经过我市科技部门的积极上争，靖江先锋半导体科技有限公司承担的“基于5nm芯片工艺刻蚀机核心部件PM模块研发及产业化”项目成功入选项目库，获得省财政1000万元经费资助。

刻蚀机是芯片制造三大核心环节之一，其原理相当于“微雕”，主要利用一种或多种气体原子或分子混合于刻蚀机反应腔系统（又称PM模块）中，在外部能量（射频、微波等）和强电场加速轰击下，完成芯片上超精细电路图的“雕刻”，这种纳米级的“雕刻”都在反应腔系统中完成，对反应腔环境的精密性、洁净度、稳定性（气密性、耐腐蚀、耐高温）要求极高，技术难度极大，其工艺复杂性仅次于光刻工艺。PM模块是刻蚀机的“心脏”，也是技术难度最大的核心部件，其设计制造涉及微电子科学与工程、微机械设计、物理学、化学、材料科学等多学科协同创新。

据介绍，先锋半导体研发成功的PM模块产品，突破了大尺寸金属构件超高精密加工、耐腐蚀表面处理、高温环境均匀性和稳定性控制等国产PM制造的“卡脖子”技术，发明了专业的检测方法，建立了精细化智能管理及高技能人才培养体系。同时，先锋半导体这一项目的实施，还实现了用国内二流的精密加工设备造出世界一流产品。目前，该产品已在国际顶尖芯片设备制造公司——中微半导体ICP刻蚀机上作为独家供应商进行试用，运行结果达到世界先进水平。以项目产品为核心部件的ICP刻蚀机已在台积电进行5nm制程试产成功，后续将用于台积电全球首条5nm制程生产线量产。

先锋半导体公司这一项目的研发成功和产业化，将有力支撑国产刻蚀技术水平与世界同步，在芯片制造核心设备群中率先崛起，打破国际垄断，补上“中国芯”产业链的重要一环。